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SiC激光退火设备

SiC激光退火设备

产品特点 1.整机模块化设计与集成,兼容4、6、8英寸薄片晶圆;
2.集成自研成熟先进激光整形技术,光斑能量高度均匀、稳定;
3.退火后表面均匀、平整,优秀的电学特性及表面形貌特征表现;
4.严格控制腔体含氧量,有效控制表面碳析出量和分布;
5.配置监控与补偿系统,监测光学能量稳定性和非退火面温度;
6.配备EFEM传输系统,整机符合SEMI标准,支持SECS-GEM通信。

产品应用

适用于对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触。


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产品参数

可加工品圆尺寸
4inch、6inch、8inch
薄片退火支持
光斑整形平顶光
光斑均匀性>95%
能量稳定性≤1%
比电阻接触率≤5×10^(-5)Ω.cm²
表面温度Amnealedgurtece>1500℃.NOn=ann日ledsurlaco<100℃
腔体含氧量N2/Ar: 99.99%,<100ppm@25s
运动平台精度

直线度:±1μm

重复定位精度:±1μm

品圆传输

Automatic transferring

(compatible to wafer or wafer/w carrier)


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